真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。

真空氣氛爐中真空系統(tǒng)的氣密性表征了防止氣體滲漏的性能，包括漏孔(或間隙)的漏氣和材料的滲氣，其優(yōu)劣通常用漏率表示。漏率是單位時間內(nèi)流過漏孔(包括間隙)的氣體量。在標準中，漏率定義為：漏孔入口壓力為1*0.1*105Pa，出口壓力低于1.33*103Pa，溫度為23℃±7℃的標準條件下，露點溫度低于﹣25℃的空氣，單位時間內(nèi)流過漏孔的氣體量。

真空檢漏的目的，不僅是判斷系統(tǒng)是否漏氣，定量地檢測出漏率的大小，更重要的是找出漏孔的位置或漏氣原因，以便采取措施進行修補。真空檢漏的基本原理是利用真空系統(tǒng)內(nèi)外的壓差使氣體流動并運用一定的技術手段檢測出漏孔的位置。

真空系統(tǒng)內(nèi)部充有高于大氣壓力的氣體，使氣體由內(nèi)向外流動進行檢漏的方法稱為正壓檢漏法，檢漏儀器探頭從外部探測示漏氣體，從而確定漏孔位置及漏率。把真空系統(tǒng)抽成真空，從外部用噴嘴向系統(tǒng)噴射示漏氣體，使氣體由外向內(nèi)流動，觀察檢漏儀讀書變化，從而確定漏孔位置及漏率，這種檢漏稱為負壓檢漏法，也可稱為真空檢漏法。

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