方法一: 真空泵預(yù)抽真空法
操作步驟:
1.把任何一個出氣嘴與真空用軟管連接起來;
2.對箱式氣氛爐的爐腔進行預(yù)抽真空;
3.通入保護氣體;
4.再對箱式氣氛爐的爐腔進行預(yù)抽真空;
5.如此循環(huán)幾次以達到爐膛內(nèi)氣氛要求。
方法二:保護氣體替換法
操作步驟:
1.保護氣體一般應(yīng)在箱式氣氛爐升溫前通入爐內(nèi);
2.保護氣體可通過上、下、后三個洗爐口通入,應(yīng)將排氣口的針閥開至zui大,以利于爐內(nèi)空氣盡快排出;
3.一般向爐內(nèi)通入爐膛容積10倍左右的保護氣體,可使爐內(nèi)氧濃度降至10ppm左右;
4.當爐內(nèi)氧濃度符合產(chǎn)品工藝要求時,可將排氣口的針閥關(guān)小,以節(jié)約保護氣,關(guān)閉洗爐口,由進氣口通過流量計進入;
5.在氣氛爐使用過程中,爐膛內(nèi)必須維持正壓,以防爐外空氣進入爐膛。
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